Einstellungen
Verkauf durch Buchhandlung Mirhoff & Fischer in Bochum
Lieferung 3-5 Werktage für 5,95 €
Sie holen das Produkt im Geschäft selbst ab, die Ware liegt in einem Werktag für Sie bereit.
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.
Produkt teilen
Pieperstraße 12, 44789 Bochum
Montag 10:00-18:30
Dienstag 10:00-18:30
Mittwoch 10:00-18:30
Donnerstag 10:00-18:30
Freitag 10:00-18:30
Samstag 10:00-14:00
Samstage im Advent 10:00 - 18:00